קוטר מסך: Ø350 מ"מ
טווח סיבוב: 0°~360°
רזולוציית זווית סיבוב: 1′
דיוק זווית סיבוב: 4′
שטח שולחן עבודה: 380 מ"מ×230 מ"מ
טווח ציר X: 200 מ"מ
טווח ציר Y: 100 מ"מ
רזולוציית מדידה: 0.001 מ"מ
טווח ציר Z: 0∼100 מ"מ (מיקוד/פוקוס)
דיוק המכשיר: (3+L/75)μm
כאשר L = אורך הפריט הנמדד (ביחידות מילימטר)
כושר העמסה: 5 ק"ג