טווח מדידה של ציפוי: 3Li~92U
טווח זיהוי יסודות: 13 אלומיניום (Al)~92 אורניום (U)
מספר יסודות הניתנים לזיהוי בו-זמנית: 24 יסודות, וניתן לנתח בו-זמנית יותר מחמישה ציפויים
גבול זיהוי: עובי ציפוי המתכת הדק ביותר יכול להגיע ל-0.005 מיקרומטר
טווח עובי: עובי ציפוי הניתוח הוא בדרך כלל בתוך 50 מיקרומטר (משתנה עבור חומרים שונים)
זמן זיהוי: 5-40 שניות